(ÁÖ)µð¿£¿¡ÇÁ´Â ¹ÝµµÃ¼¿ë ¹è¼±Àç·á AI CVD Precursor¸¦ °³¹ßÇÏ¿© ±¹³» Ĩ¸ÞÀÌÄ¿¿¡ µ¶Á¡ °ø±ÞÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È¿¡ ÇÊ¿äÇÑ CVD/ALD Precursor ¿¬±¸°³¹ß Àü¹®±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Áö¼ÓÀûÀÎ R&D ÅõÀÚ·Î Á¦Ç°ÀÇ Æ÷Æ®Æú¸®¿À ¿ª½Ã È®´ëµÇ°í ¼öÀÔ ÀÇÁ¸µµ°¡ °Çß´ø ¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀçºÐ¾ßÀÇ ±¹»êȸ¦ ¼±µµÇϸç, ±¹³».¿Ü °í°´»çÀÇ ¿ä±¸¿¡ ºü¸£°í È¿°úÀûÀ¸·Î ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷¿¡¼µµ Àç·áÀÇ Æ¯¼ºÀÌ Á¡Â÷ Áß¿äÇØÁö°í ÀÖ¾î µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ÀüÀÚÈÇÐÀç·á °³¹ß¿¡ Âü¿©ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ³¿¬Á¦, ±â´É¼º ÄÚÆÃÁ¦, ±âŸ ³ª³ë¼ÒÀç µîÀÇ ¿¬±¸ÅõÀÚ·Î Á¾ÇÕÈÇмҰ³ ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀå ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.